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    如本申请和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”*提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其它的步骤或元素。本说明书提供的驱动机构可以应用于多种需要直线运动驱动的场景。在一些实施例中，该驱动机构可以用于驱动多叶光栅装置的叶片。*作为示例性说明，本说明书一个或多个实施例将以多叶光栅装置的驱动机构为例进行说明。多叶光栅装置是一种用来产生适形辐射野的机械运动部件，通常应用在放射***中。多叶光栅装置在应用时，可以通过驱动机构驱动叶片运动到设定的位置，使得多个叶片能组成预设形状的辐射野，使得射线源穿过辐射野投影在目标对象的待照射区域。在一些实施例中，用于驱动叶片的驱动机构至少包括电机，用于给叶片的运动提供驱动源。在一些实施例中，所述电机包括直线电机或旋转电机，**地，采用直线电机进行叶片驱动，上海直线电机**轴承。在一些实施例中，上海直线电机**轴承，直线电机可以包括但不限于圆柱形直线电机、u型槽直线电机，上海直线电机**轴承、平板式直线电机等。在一些实施例中，在利用直线电机驱动叶片运动时。直线电机模组平台发展至今，已经被广泛应用到各种各样的设备中。上海直线电机**轴承

    由转子演变而来的一侧称为次级。在实际应用时，将初级和次级制造成不同的长度，以保证在所需行程范围内初级与次级之间的耦合保持不变。直线电机可以是短初级长次级，也可以是长初级短次级。考虑到制造成本、运行费用，目前一般均采用短初级长次级。直线电动机的工作原理与旋转电动机相似。以直线感应电动机为例：当初级绕组通入交流电源时，便在气隙中产生行波磁场，次级在行波磁场切割下，将感应出电动势并产生电流，该电流与气隙中的磁场相作用就产生电磁推力。如果初级固定，则次级在推力作用下做直线运动;反之，则初级做直线运动。直线电机的原理并不复杂。设想把一台旋转运动的感应电动机沿着半径的方向剖开，并且展平，这就成了一台直线感应电动机（图）。在直线电机中，相当于旋转电机定子的，叫初级;相当于旋转电机转子的，叫次级。初级中通以交流，次级就在电磁力的作用下沿着初级做直线运动。这时初级要做得很长，延伸到运动所需要达到的位置，而次级则不需要那么长。实际上，直线电机既可以把初级做得很长，也可以把次级做得很长;既可以初级固定、次级移动，也可以次级固定、初级移动。对直线电机控制技术的研究基本上可以分为三个方面：一是传统控制技术。江苏高精度直线电机正是这种“零驱动”模式带来了旋转电机原有驱动方式无法达到的性能指标和优点。

    且***齿轮210和第二齿轮220同轴设置。叶片的侧边设置有与第二齿轮220配合的第二齿条310(未示出)，第二齿条310沿直线x的方向设置，直线电机沿直线y的方向设置，***齿条113相对第二齿条310垂直，当动子110沿直线y方向上运动时，可以带动***齿轮210和第二齿轮220转动，进而可以带动第二齿条310和叶片沿直线x方向运动。在一些实施例中，直线输出组件也可以设置在驱动对象的运动方向上。其中，设置在驱动对象的运动方向可以理解为直线输出组件的设置位置占用了多叶光栅装置及其驱动机构沿所述运动方向(例如，直线x方向)的尺寸。在一些实施例中，可以在上述直线输出组件的设置方案中，在直线输出组件与驱动对象之间设置可行程放大(例如，驱动对象的运动行程大于直线输出组件的运动行程)的传动组件。例如，图6所示的实施例方案；也可以参照前述方式将直线输出组件垂直于所述运动方向设置。图6是图1的不同方向的示意图。参照图1和图6所示，在一些实施例中，所述直线输出组件100设置在所述驱动对象300的直线运动方向上。具体地，在直线输出组件100与驱动对象300之间设置有可用于行程放大的齿轮组件。其中，齿轮组件包括与直线输出组件100上的***齿条113啮合的***齿轮210。

    随着科技时代不断的发展进步，所使用的线性滑轨会和其他因素缘故一起针对直线电动机的性能以及质量起着共同的决定性作用。直线电机在工业应用中更多地取代了带有易磨损机械传动部件的驱动装置。它们可以提供更高的速度与加速度、较好的调节精度并且能够精确的进行定位分析直线电动机的优点在于，所提供的电能可以直接转换成为线性运动，完全不需要任何用于转矩转换机械的中间元件，直线电机的应用领域非常***，包括光学、电子、纺织工业、机械制造、装卸输送以及包装工业等等。例如，电子结构元件的制造与加工工艺过程的要求非常高：尺寸为1mm×电子工业中插装自动装置的操作周期时间常常小于，驱动装置必须达到5μm的定位精度同时达到较高的加速度值对机械的要求特别高，这种使用直线电机可以达到的加速度又对直线导轨的机械结构提出了非常高的要求。直线电机在操作中会产生较高的持久性轴向力。导向装置必须吸收所出现3000N的力。因此在高动态的运转应用中要求要有重量轻、刚性高并且坚固的机械导向装置。机台水平的校正。线性滑轨要求用两个等高量块以及一个大理石量尺放在安装基面上，放上精密的水平仪调试底座水平，要求是底座中凸(2~3格)直线导轨安装基面粗糙度。速度的区别在速度方面直线电机具有相当大的优势。

    所述隐形切割技术是将半透明波长的激光束聚集在晶圆内部，形成一个分割用的起点(改质层：即为sd层)，再对晶圆片施以外力将其分割成小片芯片的切割技术。具体地，通过限位开关检测装置，能及时判断平台运行是否超程，再通过限位开关将超程信号传递给控制器，控制器根据反馈信息进行分析处理，避免因直线电机超程导致撞机从而引发直线电机平台损坏，有效地保护直线电机平台安全稳定运行。其中，该限位开关系统适用于所有直线电机平台的限位检测。具体实现方式如下：1、开启电源，平台正常工作；2、检测限位开关是否正常工作；3、若限位开关没有正常工作，则进行反馈并报错；4、若限位开关正常工作，则检测其是否被触发；5、若限位开关被触发，则平台超程运行，发出触发信号给控制器，并进行报警断电处理；6、若限位开关未被触发，则平台正常运行，并实时监管其是否被触发。其中，直线电机平台正常运行时，是在行程范围内运行，不会触碰限位开关，如果平台超程运行就会触碰限位开关，光电开关被遮挡产生电信号，上位机控制器接收到信号就可以判断直线电机平台已经超程，进行报警和紧急停止，防止造成严重后果。进一步地，本实用新型提供限位开关的比较好实施例。它们都属于自动化传动元件，能够实现直线运动，是将各种零部件装配在铝型材上并加盖板，外观上看起来很像。上海直销直线电机

直线电机结构简单，不需要经过中间转换机构而直接产生直线运动，运动惯量减少，响应性能和定位精度提高。上海直线电机**轴承

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