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洁净度测试是无尘室性能测试的**,在洁净度测试之前,应验证洁净室的各方面设施都是完备的,且运行正常,符合设计的技术性能要求。包含:
1.洁净室风速、风量测试已完毕
2.洁净室高效过滤器检漏测试已完毕
3.洁净室静压差测试已完毕
4.洁净室隔断结构气密性测试已完毕
二、测试仪器
大流量尘埃粒子计数器
型号:METone3445
附有仪器校准证书,且在校准时间有效期内。
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