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所述隐形切割技术是将半透明波长的激光束聚集在晶圆内部，形成一个分割用的起点(改质层：即为sd层)，再对晶圆片施以外力将其分割成小片芯片的切割技术。具体地，通过限位开关检测装置，能及时
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直线电机模组平台发展至今，已经被广泛应用到各种各样的设备中。相对于传统丝杆、皮带模组等传统直线传动方式，直线电机模组平**美展现了其单体运动速度快、重复定位精度高、使用寿命长等一系列
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使用时组合为一体；长行程拖链应用应用及评估1)使用车间为万级无尘室，要求拖链满足无尘要求且架空使用；2)多次优化拖链选型及机构优化，终达到客户要求；3)采用独特的走线方案，减少拖链的
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在放射性***系统中，多叶光栅装置可以用来产生适形辐射野的机械运动部件，其采用驱动机构驱动多叶光栅装置的叶片运动到指定的位置，使得多个叶片能组成各种不同形状的辐射野，透过所述辐射野的
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